《表2 中心热电偶不同安装位置与外延炉温度关系》

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《基于离子注入片的单片外延炉温度研究》

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规定热电偶安装时与基座下表面的距离为x，当热电偶接触基座下表面，即x=0时为安装零点。改变x的大小，测试不同安装高度下外延炉的温度变化。实验用千分表测量变量x的数值，设计x分别为254μm、508μm、762μm、1016μm、1270μm 5组实验条件，结果如表2所示。