《表3 PID参数与外延炉温度关系》

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《基于离子注入片的单片外延炉温度研究》

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图7为正常PID参数和异常PID参数下的外延炉升温对比曲线，横坐标为时间，纵坐标为中心热电偶温度读数。分析温度曲线，正常的温度曲线与设定值同步较好，而修改PID参数后，异常的温度曲线升温速率偏高，导致过冲严重，温度最高点为1192℃，即过冲12℃。不同PID参数设置的外延炉温度结果如表3所示。