《表3 图3中平行条纹移动的距离D和外延层去除厚度H的对应关系》

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《4H-SiC外延层中堆垛层错与衬底缺陷的关联性研究》

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本课题组进一步研究了在形貌通道中不显示图像的IV类SF的繁衍规律，如图5所示。该类缺陷腐蚀后尾部对应两个BPD的连线，没有线形结构与头部相连，说明没有棱镜面SF与表面相交。图5（a）中IV类SF尾部的两个BPD向上台阶的延伸方向与TED交汇成三角形，如图5（a）中插图所示，其形貌与PL谱测试中三角形SF的形貌吻合。三角形的底边长度为L，TED顶点到底边的垂直距离为W，相应数据记录在表3中。抛光去除一定的外延层厚度H，BPD连线向上台阶方向移动距离D，三角形底边长度L和宽度W缩短，但是形状保持不变，如图5（b）及内部插图所示，相应数据记录在表3中。进一步抛光至衬底表面，三角形形貌消失，头部对应一个BPD，如图5（c）及内部插图所示。上述现象说明IV类SF起源于衬底的BPD，在外延过程中首先转化为TED，TED沿着c轴传播，同时分解为两个不全位错，不全位错沿着（0001）面移动形成IV类SF，其繁衍示意图如图3（e）所示。IV类SF没有形成垂直于（0001）面的棱镜面SF，或棱镜面SF在生长过程中消失，没有与表面相交。