《表4 图5中平行条纹移动的距离D、外延层去除厚度H、三角形缺陷宽度W和底边长度L的对应关系表》
提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名：随高清版一同展现
《4H-SiC外延层中堆垛层错与衬底缺陷的关联性研究》
图5（a）～（i）中三角形缺陷底边的长度L、宽度W、每次去除外延层的厚度H和底边的移动距离D记录在表4中。去除外延层的厚度H和底边的移动距离D仍然满足公式（1）。此外在去除外延层的过程中同一三角形形貌保持不变，底边的长度L和宽度W满足如下关系是:
| 图表编号 | XD0077638400 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.07.01 |
| 作者 | 郭钰、彭同华、刘春俊、杨占伟、蔡振立 |
| 绘制单位 | 北京天科合达半导体股份有限公司、新疆天富能源股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、新疆天富能源股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
