《表4 气流分布特征与外延层厚度均匀性的关系Tab.4 Relationship between gas flow distribution characteristics and uniformit
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外延层的厚度分布均匀性与生长腔体内各区域H2的流量和流速的配比度密切相关。进气口处设置载气流量阀，通过调节电压可以对应精准调控流量阀的开合度，进而重新分配中间支路和两侧的气路流量和流速，实现对外延系统反应流场的精确控制。针对1#和2#样片开展流量分配的调控实验，对厚度均匀性的影响效果如表4所示。
| 图表编号 | XD00188442100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.12.03 |
| 作者 | 李明达 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
