《表5 基座旋转速度和载气流量与外延厚度均匀性的关系Tab.5 Relationship of the susceptor rotation speed and carrier gas flow ra

《表5 基座旋转速度和载气流量与外延厚度均匀性的关系Tab.5 Relationship of the susceptor rotation speed and carrier gas flow ra   提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名：随高清版一同展现
《200 mm硅外延片厚度和电阻率均匀性工艺调控》


  1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

如表5所示，通过对H2总载气流量和基座旋转速度的调制，实现对外延流场结构以及厚度不均匀性的进一步改善，在H2总载气流量为80 L/min，基座旋转速率为35 r/min时，可将厚度不均匀性优化至1%以下，相比于初始设备状态下不均匀性仅小于3%的水平，参数一致性取得了明显的改善。

图表编号XD001103000    严禁用于非法目的
绘制时间2018.12.03
作者李明达
绘制单位中国电子科技集团公司第四十六研究所
更多格式高清、无水印（增值服务）

相关图表

  1. 《表1 气流分布特征与外延层厚度均匀性的关系》2021.02.01
  2. 《表4 气流分布特征与外延层厚度均匀性的关系Tab.4 Relationship between gas flow distribution characteristics and uniformity of the epitaxial la》2018.12.03
  3. 《表2 基座与硅片之间温度差值对外延滑移线的影响Tab.2 Effect of the temperature difference between the susceptor and the silicon wafer on the sli》2018.12.03
  4. 《表4 基座不同预包硅厚度对应的外延电阻率均匀性》2020.05.01
  5. 《表5 潜在变量与观察变量对应关系Tab.5 Relationship between the potential and observed variables》2019.01.20
  6. 《表5 潜在变量与观察变量对应关系Tab.5 Relationship between the potential and observed variables》2019.01.20
  7. 《表5 VEGF和TP表达与预后关系的统计学分析Tab.5 Statistical analysis for the relationship of VEGF and TP expression with prognosis》2019.02.20
  8. 《表5 城市群尺度社会经济要素与建设用地空间格局的关系Tab.5 The relationship between the spatial pattern of built-up areas and socio-economic factor》2019.02.25
  9. 《表4 通行速度时间变化表Tab.4 The relationship of time and speed》2019.01.20
  10. 《表5 投饲量精度和投饲速度Tab.5 The results of feeding accuracy and feeding speed》2018.02.01
  11. 《表2 刮膜转速对产物纯度与收率的影响Table 2 Effect of rotating speed on the yield and purity of the compound》2018.09.20
  12. 《表4 溜槽倾角α与焦炭出口速度V-coke的对应关系Tab.4 Corresponding relationship of chute dip angle and outlet speed of coke (V-coke:non consi》2018.07.28
  13. 《表2 吹扫过程与外延层电阻率不均匀性的关系Tab.2 The relationship between resistivity nonuniformity of epitaxial layers and purge process》2018.12.25
  14. 《表2 漏口试件漏损流量与供水压力拟合关系Tab.2 Fitting relationship between leakage flow of test piece and water pressure》2018.04.10
  15. 《表4 市域快线最高运行速度与站间距的关系Tab.4 The relationship between the highest speed and station spacing》2018.10.18
  16. 《表2 行驶速度与交通事故危险性的关系Table 2 Relationship between driving speed and traffic accident risk》2018.03.01
  17. 《表2 档位速度与油耗关系Tab.2 Relationship between gear speed and fuel consumption》2018.09.20
  18. 《表3 儿童青少年睡眠情况与速度、耐力成绩的关系Table 3 The relationship between sleep condition and speed and endurance performance》2018.06.18
  19. 《表2 冰壶速度与擦冰频率的关系Table 2 Relationship between Curling Speed and Frequency of Ice Scrubbing》2018.01.15
  20. 《表6 灯管功率分布特性与外延层电阻率均匀性的关系Tab.6 Relationship between the lamp power distribution charac-teristics and uniformity of the ep》2018.12.03

随机翻阅

《表1 IGV温度设定值参数》 《表5 不同能力下的分组检验》 《表4 80 t/h滤饼干燥装置的主要设备配置》 《表4 政企关系重构与企业产能利用率:不同规模企业比较》 《表2 不同方案下不同分类方法精度评定》 《表8 修正前后诊断结果对比表》 《表1 不同日龄婴儿的CSF检测值平滑百分位数分布》 《表4 不同院区职工对医院文化建设满意度的比较》 《表1 乳腺癌患者临床病理参数和PROX1表达》 《表1 改革开放以来我国的扶贫历程演进》