《表1 外延片暗点及维护情况Tab.1 Epitaxial film dark spots and maintenance》

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《大尺寸外延片表面暗点现象的工艺研究》

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桶式外延炉长期以来存在着较为严重的暗点问题，表1为一年中所生长外延片中出现的暗点片数及对旋转轴进行的维护更换统计记录。从表1可以看出，在一年的外延片生产中，因暗点造成的不合格外延片近500片，同时清洁及更换旋转轴也极大增加了设备的维护成本，并影响正常的生产效率，打乱正常的生产秩序。如何有效解决暗点问题成为当务之急。