《表4 采用改造支承筒暗点和设备维护情况Tab.4 Modified support cylinder dark point and maintenance》

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《大尺寸外延片表面暗点现象的工艺研究》

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从表3可以看出，使用原支承筒，每炉外延片表面均出现不同数量的暗点，同时发现暗点出现的位置与支承筒缝隙相对应，从而进一步确定了暗点的来源。使用改造后的支承筒则没有暗点产生，说明改造方案很好地解决了暗点问题。采用改造后支承筒后暗点和设备维护情况见表4。