《表3 两种支承筒对应的实验结果Tab.3 Experimental results corresponding to the two support cylinders》

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《大尺寸外延片表面暗点现象的工艺研究》


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通过以上实验，生产出的外延片，经过在200 KLX的强光灯下观测，出现暗点情况见表3。

图表编号XD0042671900    严禁用于非法目的
绘制时间2019.01.25
作者付国森
绘制单位中国电子科技集团公司第四十六研究所
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