《表1 各样品的外延批次及芯片工艺》

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《氮化镓基PIN紫外探测器芯片研究》


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整个试验过程共制备了9种不同工艺的探测器样品,下面先对各样品进行编号,外延性能及管芯制备工艺说明如表1所示。