《表1 目标厚度为12μm薄膜样品外延实验条件及实际厚度》

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《过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响》

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确定了目标厚度，可以直接得出应该采用的过冷度及所需要的外延时间.以目标厚度12μm为例，不同过冷度需要的外延时间如表1所示.表1给出了对应条件下外延的HgCdTe薄膜实际厚度（实验值）.图3给出了目标厚度分别是8μm、10μm和12μm时，外延生长后薄膜平均厚度及其分布范围，相对目标值偏离都在0.9μm范围内.