《表4 Surfscan和光学显微镜的测试结果对比》
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为进一步分析利用Surfscan测试椭圆缺陷的可行性，利用光学显微镜对样品进行分析，并将测试结果与Surfscan的测试结果进行对比，结果如表4所示。
| 图表编号 | XD00183308200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.08.15 |
| 作者 | 杨建业、夏英杰、张曦、潘国平、王建峰 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
