《表1 光学显微镜-扫描电镜标记点和夹杂物坐标》

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《钢中特征区域在不同设备间的重现观察》

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本实验记录了3个不同夹杂物，在光学显微镜和扫描电镜中所有点的坐标如表1所示。通过坐标转换软件计算，图2(a）显示出夹杂物在两台设备中相对应的坐标位置。在扫描电镜中输入计算得到的坐标，即可在扫描电镜中找到夹杂物，图2(b）为200倍下拍摄的二次电子像，在视场中很容易定位到光学显微镜下看到的夹杂物，从而可对该夹杂物进行形貌观察、能谱分析等。但是，由图2(b）可见，电镜下观察到的夹杂物并不在图像中心。表1给出了扫描电镜中实际坐标与理论计算坐标存在微米量级的偏差（x方向20.5～32.2μm，y方向8.7～24.2μm），这种微小的偏差不会影响更换设备后夹杂物的定位和识别，对后续夹杂物的其他分析也不会造成影响。