《表2 扫描电镜-纳米压痕仪标记点和夹杂物坐标》

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《钢中特征区域在不同设备间的重现观察》

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样品上所有的标记点坐标和夹杂物坐标如表2所示。扫描电镜下选取的典型夹杂物如图3(a）所示，在纳米压痕仪中输入夹杂物转换后的坐标，1 000倍下观察到的图像如图3(b）所示，可以从视场中快速找到特征夹杂物，将其移到视场中心即可进行压痕测试，得到的纳米硬度结果为：Al2O3类夹杂物0.14GPa，Si-Ca-O类夹杂物8.83GPa，Si-O类夹杂物8.01GPa。由于纳米压痕测试后的压痕太小，在光学显微镜下无法辨认，为了核查所测数据是否有效，需要将纳米压痕测试后的样品重新放入扫描电镜中，根据表2计算的坐标再次定位夹杂物位置，观察留有压痕印记的夹杂物形貌，如图3(c）所示，再与图3(a）进行位置比对，可确认纳米硬度测试准确作用于特征夹杂物上，所得结果能真实反映该类夹杂物的纳米硬度。