《表3 光学显微镜常用放大倍数下x和y方向的最大允许偏移量》

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《钢中特征区域在不同设备间的重现观察》

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通常情况下，光学显微镜和扫描电镜拍摄的照片比例约为4∶3。以光学显微镜为研究对象，100倍下拍摄的照片短边长度为1mm，假设特征点在照片中心，则特征点沿短边方向从中心位置上下偏离距离不超过短边长度的一半即0.5mm，均可在该视场内找到特征点，短边方向对应为样品台y移动方向，长边方向则对应为样品台x移动方向。因此，可确定在光学显微镜100倍下，只要偏移量x≤0.67mm，同时y≤0.5mm，在该视场下均可找到该特征点。通过此方法可计算出光学显微镜常用倍数下x和y方向的最大允许偏移量，如表3所示。