《表1 三种硅外延层电阻率测量方法的对比》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《空气电容电压法测试电阻率的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

因为QCS设备只能测试硅片近表面电阻率，无法反映出外延层载流子浓度纵向分布的情况，对于产品结构为肖特基或MOS期间的厂商而言，ACV不失为一种既可以测试电阻率又能识别载流子浓度分布的机台。下面主要对这个量测方法进行详细介绍。