《表1 CVD制备单晶金刚石的主要方法对比[14]》

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《CVD法制备单晶金刚石的现状及研究进展》


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CVD单晶金刚石的主要制备方法包括微波等离子体CVD法(MPCVD)、直流等离子体CVD法、热丝CVD法(HFCVD)、燃烧火焰CVD法(CFCVD)等,具体见表1。