《表1 CVD-ZnS材料制备工艺参数》

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《CVD-ZnS异常大晶粒的再结晶机制》

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采用化学气相沉积方法，使用锌蒸气（99.999%）和H2S气体（99.999%）为原料，引入氩气（Ar），将H2S气体与Zn蒸气经Ar携带喷入立式沉积炉内，两种反应剂气体在石墨基板表面发生如式（1）所示化学反应，沉积具体工艺参数如表1，本文讨论的所有样品都是从同一实验炉次中获取。