《表2 磁控溅射薄膜材料性能对比》

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《内燃机轴瓦涂层的研究现状》

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表2总结了不同磁控溅射薄膜材料的性能。采用磁控溅射技术制备的轴瓦薄膜，耐磨性能出色，组织平整，与基体结合紧密，同时还能根据需求调节厚度，工艺过程可重复性好。当然，磁控溅射技术设备较昂贵，操作复杂，制备厚度为15μm的自润滑薄膜需要超过22 h的时间，在商业化生产中效率不高，难以达到产业化要求。