《表2 四种控制器的锯齿波轨迹跟踪误差》

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《粘滑式压电驱动平台的复合控制》


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当期望轨迹的频率较低时,PI-DPF-FF控制器的跟踪误差最小;随着频率的增加,PI-DPF-FF控制器的跟踪误差略大于PI-FF控制器。