《表3 低阻产品溅射工艺》

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《触摸屏用低方阻PET导电薄膜镀膜工艺研究》

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当镀膜速度为3 m/min时，根据膜层溅射速率，计算溅射所需功率依次为17.9 k W、50.98k W、20.5 k W，为此，合理分配靶位，将设备###1靶位用于Si N溅射，2～4靶位用于Si O溅射，3 4 2##5～6靶位用于ITO溅射，实验工艺参数见表3。