《表1 溅射工艺参数：摆式隔振器中基于智能材料的微应变驱动》
提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
本文采用直流溅射的方式，经过反复尝试，当镀膜厚度约为10μm时，磁控溅射镀膜的调控参数如表1所示。
| 图表编号 | XD00201103300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2021.01.18 |
| 作者 | 陈嘉敏、王雷 |
| 绘制单位 | 哈尔滨工业大学、哈尔滨工业大学 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
相关图表
- 《表2 磁控溅射制备薄膜工艺参数》2021.01.25
- 《表1 磁控溅射沉积工艺参数》2020.12.20
- 《表1 热岛等级划分：基于UHomeOS的微内核操作系统驱动复用技术研究》2020.12.20
- 《表1 磁控溅射工艺参数：YT30刀具表面磁控溅射AlTiCrN涂层的微观组织及摩擦性能》2020.11.25
- 《表1 溅射铁电薄膜的工艺参数》2021.02.01
- 《表1 实验参数：GZO薄膜溅射工艺对性能的影响研究》2020.04.05
- 《表5 正交试验结果分析：基于PDMS-PMMA材料的微流控芯片等离子体键合工艺研究》2020.04.20
- 《表3 正交试验因素水平：基于PDMS-PMMA材料的微流控芯片等离子体键合工艺研究》2020.04.20
- 《表1 射频磁控溅射工艺制备CZO薄膜的相关参数》2020.04.15
- 《表2 材料的参数：基于灵敏度分析的微客尾门模态优化》2020.01.10
- 《表3 智能负载相关参数：基于智能负载的微电网精准切负荷控制策略》2020.03.28
- 《表1 典型样品的溅射工艺参数》2020.04.25
- 《表3 磁控溅射镀铝工艺参数》2020.02.20
- 《表1 材料属性参数：基于“应变-载荷”模型的大型风电机组叶片载荷识别研究》2019.05.28
- 《表1 土层的材料参数：应变软化土坡基于分层技术的有限元计算》2019.06.25
- 《表1 磁控共溅射法制备TZO薄膜的工艺参数》2019.01.01
- 《表3 溅射TiAl薄膜工艺参数分组情况》2019.01.15
- 《表1 磁控溅射钽涂层工艺参数》2018.11.25
- 《表1 工艺参数：工艺参数对磁控溅射TiN膜结构的影响》2019.12.15
- 《表1 悬臂梁材料参数：基于实测响应反推标定非接触磁场激振器激振力》2019.12.01