《表1 磁控溅射工艺：Al_2O_3陶瓷Ti+Nb/Mo金属化对其与Kovar合金钎焊连接的组织和力学性能的影响》

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《Al_2O_3陶瓷Ti+Nb/Mo金属化对其与Kovar合金钎焊连接的组织和力学性能的影响》

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母材用质量分数为95%Al2O3陶瓷（A-95瓷），其尺寸如图1所示.钎料采用市场箔片Ag Cu28钎料（厚50μm）.溅射用的钛靶（纯度不低于99.9%）、铌靶（纯度不低于99.8%）、钼靶（纯度不低于99.9%）尺寸均为300 mm×150 mm×20 mm，溅射时维持氩气的压强为2.1×10–1 Pa，工艺参数如表1所示.溅射工艺为，同时溅射Ti元素和Nb元素，然后溅射Mo元素.取部分溅射后的试样进行电镀镍处理，镀镍的工艺见文献[10].将溅射后的试样和电镀镍后的试样在真空炉中进行真空回火处理10 min，处理温度为840℃，以完成陶瓷的金属化.