《表1 理论模拟膜层厚度》
低方阻(60~80 W/□)材料需要的ITO层厚度约是常规电容膜(150 W/□)的2倍,即35 nm左右,根据理论模拟,ITO厚度增加后透过率会降低,且当ITO蚀刻出图案后会有比较明显的色差,不利于产品推广,为此需要引入高折层,结合我司镀膜设备,选定氮化硅作为高折射层材料,膜层结构改变为Si 3N 4/S iO 2/ITO,理论模拟厚度如表1后可达到预期光学效果,理论模拟透射曲线见图2。
图表编号 | XD00129647500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.03.25 |
作者 | 刘月豹、巩燕龙、郑琦林、高峰 |
绘制单位 | 安徽方兴光电新材料科技有限公司、安徽方兴光电新材料科技有限公司、安徽方兴光电新材料科技有限公司、安徽方兴光电新材料科技有限公司 |
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