《表1 传感器各膜层的材料及厚度》

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《固贴式薄膜体声波传感器的仿真分析》

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本次设计的压力传感器的谐振频率为4 GHz，纵波在Al N材料中的传播速度为6 720 m/s，由式（2）可以计算出所需压电薄膜的厚度为840 nm，在COMSOL Multiphysics中绘制BAW-SMR的几何结构，各层膜的材料及厚度如表1所示。