《表1 波长300 nm~400 nm范围内不同厚度膜层的平均透射率》

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《优化HAD结构提高CCD紫外谱段量子效率的研究》


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根据膜系增透的基本原理进行了光学仿真,得出了不同厚度Si3N4和表层Si O2对应的透射率曲线如图2和图3、表1所示。