《表2 ITO厚度45nm时的不同TLCM样品对应膜层厚度》

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《OGS触控显示模组一体黑技术研究》

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表1和表2是ITO厚度为45nm时的不同TLCM样品反射LAB测试结果及其对应不同膜层的厚度，从表1看出黑色光阻区与可视区最小色差为0.97，几乎低于人眼识别色差阈值（约1NBS)[4-5]，一体黑光学效果明显；结合表1和表2能够发现以下现象：（1）在相同的Nb2O5和SiO2厚度情况下，SiOxNy厚度90nm的样品色差总体比SiOxNy厚度60nm和70nm的大；（2）在相同的SiOxNy和SiO2厚度情况下，Nb2O5厚度10nm的样品色差总体比厚度8nm和9nm的大，参考此规律样品制作时，要将SiOxNy膜层厚度朝工艺下限生产，Nb2O5厚度朝工艺上限制作。