《表1 ITO厚度45nm时的不同TLCM样品测试结果》

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表3和表4是ITO厚度90nm时的不同TLCM样品反射LAB测试结果及其对应不同膜层的厚度,从表1看出黑色光阻区与可视区最小色差为1.07,人眼色彩感觉差别轻微,属于小色差;结合表3和表4能够发现以下现象:(1)随着SiO2厚度的变大,色差逐渐变大;(2)在相同的Nb2O5和SiO2厚度情况下,SiOxNy厚度90nm的样品色差总体比厚度50nm的大。