《表1 ITO过孔电阻测试结果》

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《小尺寸TFT-LCD GOA显示屏不良横纹的研究》

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ITO过孔电阻测试:分别选取异常和正常GOA单元中连接Vss、STV、Output、Reset信号端4处腐蚀严重和正常的ITO过孔，对比测试ITO电阻值。电阻测试示意图如图3所示，采用两个探针，一个探针接触ITO过孔内，另一个接触ITO过孔外边缘，测试方法为电压法和电流法，即通过两个探针，测得ITO孔内外间的电压和电流，然后再根据电阻公式R=U/I计算出电阻值，测试结果如表1所示。正常GOA单元中4处信号端的ITO过孔电阻平均值约为2.03×102Ω，而异常GOA单元中4处信号端的ITO过孔电阻平均值约为9.11×105Ω，可见，腐蚀的ITO过孔电阻异常偏大，可能造成GOA信号无法上下导通，产生横纹不良。