《表2 ITO腐蚀条件测试结果》

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《小尺寸TFT-LCD GOA显示屏不良横纹的研究》

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因为横纹不良是产品在高温高湿测试条件下工作时产生的功能性问题，直接影响着产品寿命，同时也不满足品质出货标准（信赖性THO测试≥1 000h），因此为改善这个不良，找到ITO发生腐蚀的原因和机理尤为重要。首先，我们研究了引起ITO发生腐蚀的必要条件，将温度、湿度及电信号影响因子进行分离评价，即在常温高湿给信号、高温常湿给信号、高温高湿给信号以及高温高湿不给信号4种不同条件下，进行了长期信赖性测试，如表2所示。测试结果表明，只有在高温高湿给信号条件下，且在较短的时间内，ITO就会发生严重腐蚀，造成横纹不良，由此可见，高温、高湿和电信号是ITO发生腐蚀的3个必要条件。