《表6 ITO厚度120nm时的不同TLCM样品对应膜层厚度》

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表5和表6是ITO厚度120nm时的不同TLCM样品反射LAB测试结果及其对应不同膜层的厚度，从表1看出黑色光阻区与可视区最小色差为0.63，人眼感觉差别轻微；结合表5和表6能够发现以下现象：（1）在相同的SiOxNy和SiO2厚度情况下，Nb2O5厚度8nm的样品色差比厚度9nm和10nm时的小。