《表3 不同刻蚀温度样品的膜层厚度和透过率》

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《采用盐类化学试剂制备减反增透膜层的方法》

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刻蚀时间为24 h，分别在85、90、92、94℃条件下，用1.1小节中的固定刻蚀溶液处理玻璃基片，清洗好后，用紫外可见分光光度计测试玻璃的透过率。通过改变刻蚀温度，得到不同透过率的刻蚀玻璃片，其透射光谱如图5所示。样品的透光率分别为91.00%(85℃）、93.62%(90℃）、97.53%(92℃）和94.92%(94℃）。从图5和表3可以看出，在相同浓度刻蚀液和刻蚀时间下，样品透过率随着温度的升高而先增大后降低，膜层厚度逐渐增加。