《表2 不同厚度Nb膜633 nm处计算和测试的反射比The calculated and measured reflectivity Tab.2at 633 nm for 15 nm, 30 nm

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《超导Nb膜表面减反膜技术研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

仿真计算与测试结果总结见表2。在633 nm波长处，15 nm和50 nm厚Nb膜表面制备108 nm SiO2和84 nm SiNx减反膜后的反射率也列在表2中。从表2可以看出，30 nm厚的Nb膜，反射比最强，虽然测试和计算有一些偏差，但是具有很好的一致性趋势。对于3种厚度的薄膜，计算和测试结果都显示，SiNx减反膜比SiOx具有更好的减反效率。