《表1 单层、双层和三层减反射膜厚度最佳时在不同波段下的平均反射率》

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《SHJ太阳电池叠层减反结构及光电性能研究》

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为进一步探索降低SHJ电池表面光学反射的可能性，在SiNx/IWO双层减射薄膜的基础上导入SiOx/SiNx/IWO多层薄膜。SiNx薄膜的折射率为1.75，SiOx薄膜的折射率为1.46，介于空气和SiNx薄膜之间，满足多层减反射膜的设计要求。对于三层减反射薄膜，在全谱波长范围内存在3个极小值点，而且极小值点附近的反射率较低，因此全光谱的反射率有望进一步降低。表1对比了80 nm IWO、60 nm SiNx/80 nm IWO、90 nm SiOx/30 nm SiNx/60 nm IWO叠层在5个不同波段下平均反射率。与单层IWO薄膜相比，双层和三层减反射膜反射率降低的波段主要分布在300～400 nm及600～1100nm这2个波段内。其中短波段SiNx/IWO和SiOx/SiNx/IWO叠层的平均反射率分别降低了6.3%和10.08%。近红外波段内经过优化后分别降低至2.22%和2.13%，最终SiOx/SiNx/IWO三层减反射膜在整个可见光光谱范围内平均反射率由7.94%降至5.57%，表现出较好的减反效果。