《表1 Ni Fe单层膜和Ni Fe/Fe Mn(5 nm)双层膜表面粗糙度RMS随厚度的变化pm》

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《膜厚对NiFe单层膜及NiFe/FeMn双层膜性能的影响对比研究》

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图1给出了不同厚度Ni Fe单层纳米膜的微观形貌，其表面粗糙度RMS如表1所示。在Ni Fe薄膜的生长过程中，生成的凝聚体或团簇容易在垂直于基底方向生长，表面出现了明显的三维岛状凝聚体，这些高低起伏的尖峰形团簇会增大薄膜表面的粗糙度。当Ni Fe薄膜厚度为60 nm时，尖峰形团簇较多，表面粗糙度明显较大；Ni Fe薄膜厚度为50 nm时，虽然有个别较高的团簇，但整体区域分布的凝聚体不多，所以表面粗糙度总体而言并不高。其余厚度的Ni Fe单层膜的团簇分布排列、尺寸形貌相对而言较为均匀，表面粗糙度较低。