《表2 硅衬底材料对不同波长光子吸收特性》

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《优化HAD结构提高CCD紫外谱段量子效率的研究》

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紫外谱段的波长较短，在硅体内的吸收深度较浅，不同波长光在硅体内吸收深度[8]如表2所示，HAD的结深对紫外谱段光电荷的产生及收集影响较大，CCE表征光电荷的产生及收集过程，因此，HAD结深对紫外谱段光子的相互作用量子效率影响较大。