《表2 Ga PO4和Al N/蓝宝石衬底 (Al N/Sapphire) 以及Ga La作为压电材料电声特性的比较》
磷酸镓(Ga PO4)是一种在高温下电—声应用非常有前景的材料。Ga PO4与石英具有相同的晶体结构,但与Ga La相比,Ga PO4的特性相对较差,其在温度达到930℃时会发生相转变[14]。因此,基于石英的特性可以预见,Ga PO4在温度到达850℃时会出现系列问题。表2给出了几种作为声表面波传感器材料特性的比较[18]。
图表编号 | XD007593400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.06.20 |
作者 | 潘小山、杨璐羽、王琴、李功燕 |
绘制单位 | 中国科学院微电子研究所、国网辽宁省电力公司电力科学研究院、中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |