《表1 In0.53Ga0.47As衬底上几种氧化物材料的禁带宽度和能带排列》

《表1 In0.53Ga0.47As衬底上几种氧化物材料的禁带宽度和能带排列》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《X射线光电子能谱法研究In_(0.53)Ga_(0.47)As基Er_2O_3薄膜的能带排列》


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表1所示为In0.53Ga0.47As衬底上几种氧化物材料的禁带宽度和能带排列。可以得出Er2O3具有比其他氧化物材料更大的导带偏移和价带偏移,这表明Er2O3更适合作为In0.53Ga0.47As基的MOS器件的栅极电介质材料。