《表2 硅材料的热动力学特性参数》
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其中:E和T分别为弹性模量和系统的温度；α、χ分别为热膨胀系数和热扩散系数；CV为定容比热容；b为单根支撑梁的宽度；ω0为单根梁的固有频率.单晶硅在不同温度下的相关热动力学参数[16]如表2所示.
| 图表编号 | XD0042592500 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.04.01 |
| 作者 | 孟思、郝淑英、高芬、冯晶晶、张琪昌 |
| 绘制单位 | 天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津大学天津市非线性动力学与控制重点实验室 |
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