《表1 梳状微谐振器各部分结构的尺寸》
结构的材料为单晶硅,弹性模量E=140 GPa,泊松比λ=0.3,密度ρ=2 329 kg/m3.梳状微谐振器的结构参数如表1所示[10].
图表编号 | XD0042592600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.04.01 |
作者 | 孟思、郝淑英、高芬、冯晶晶、张琪昌 |
绘制单位 | 天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与控制重点实验室机电工程国家级实验教学示范中心(天津理工大学)、天津大学天津市非线性动力学与控制重点实验室 |
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