《表3<111>型硅材料特性Tab.3 The property of Si material (type 111)》

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《面向Micro-PNT系统的微陀螺敏感结构参数化有限元仿真研究》

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可见，两种分析方法得到的工作模态分布阶次重合，工作模态与干扰模态的频差基本一致，同阶模态的频率偏差在8%以内，在初始设计阶段，该偏差在允许范围内；参数化分析所需的节点数量仅为三维实体方法的2%，可显著缩短单次仿真耗时。