《表6 微半球敏感结构主要结构参数Tab.6 Main parameters of micro hemisphere structure》

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《面向Micro-PNT系统的微陀螺敏感结构参数化有限元仿真研究》


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微半球敏感结构主要结构参数如表6所示;材料选用熔融石英,其特性如表7所示。