《表1 多孔硅光子晶体的主要参数》

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《量子点/多孔硅光子晶体生物传感器用于检测链霉亲和素》

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实验选择的是高掺杂p型<100>单晶硅片（电阻率0.03～0.06?·cm）.腐蚀之前，分别用乙醇、去离子水和超声波清洗硅片10min，用40%氢氟酸和无水乙醇按1:1（v/v）的比例混合的电解质溶液对硅片进行电化学阳极腐蚀.实验中光子晶体设置为26层.第一层是生物分子的吸附层，第二层是隔离层，其余的24层是一个12个周期的低折射率和高折射率交替周期变化的分布式布拉格反射镜层.表1给出了制备多孔硅样品的电流密度以及多孔硅薄膜的有效折射率和厚度值.在功能化之前，用去离子水（DI）清洗基底并在氮气环境中干燥.多孔硅样品的模拟反射光谱如图1所示，中心带隙波长位于533nm.