《表1 硅晶体主要晶面性能及比较》

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《硅活性构型的研究》

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硅晶体由面心立方晶胞组成，呈金刚石型晶格结构，属于原子晶体，原子经化学键构筑成晶胞，联成晶格。硅晶体主要晶面是（100）、（110）和（111），其性能包括:面间距、面密度、键密度，详见表1[1-3]。