《表1 硅标准样品和纯铝样品各衍射峰的位置2θ、晶面指数 (hkl) 和积分宽度β》

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《X射线衍射法测定纳米晶纯铝的平均晶粒尺寸》

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选择完全退火的硅粉末作为标准样品。图1所示为硅标准样品和纯铝样品的XRD谱。表1列出了各个样品的衍射角2θ、晶面指数（hkl）和积分宽度β。由于标准样品与测试样品不是同一种材料，得到的积分宽度不是在相同的衍射角，所以需要对标准样品的积分宽度随衍射角的变化进行拟合，以便任何衍射角度都适用。通常采用下式进行拟合[7]