《表1 8 高纯硅样品中各典型元素含量及相对标准偏差》

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《辉光放电质谱法在高纯材料分析中的应用》

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高纯铝在电子工业及航空航天，原子能工业、汽车制造业、交通运输等领域有着广泛的用途，早在1989年，VASSAMILLET[19]在文章中描述了生产高纯铝时，GDMS在其质量控制中的应用。MYKYTIUK[20]等人用VG9000型GDMS分析高纯铝，并将结果与使用火花源质谱法（SSMS）的检测结果进行比较，结果表明其检测限比SSMS低100倍，并且质谱干扰较小。高纯铝中杂质元素含量会影响其性能，对其中杂质元素进行准确测定至关重要，李爱嫦等人利用日本轻金属（Nippon Light Metal）研制的高纯铝标样，得出相对灵敏度因子（RSF）对实验结果进行校正，利用另一高纯铝标样HP1000验证实验的准确性，选取最佳实验条件（见表1、图2、图3），利用辉光放电质谱仪对高纯铝中22种杂质元素进行定量分析[21]。