《表7 Si O2标准物质晶面2θ角的测量值和标准值》

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《钛酸锶单原子台阶高度标准物质的研制》

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由于纳米薄膜厚度校准装置的角度范围没有覆盖STO{001}晶面所在的峰位，因此采用α-石英晶型Si O2粉末标准物质（SRM1878b）将角度溯源范围扩展至包含STO{001}晶面峰位所在范围，满足定值设备溯源和准确测量的要求。因为α-石英晶型Si O2粉末标准物质（SRM1878b）的峰位并不是正好与STO{001}晶面峰位对应，因此需要测量α-石英晶型Si O2粉末标准物质（SRM1878b）的各个晶面对应的角度，然后与标准角度做出标准曲线，然后在标准曲线上找到STO{001}晶面对应的标准角度，从而计算STO{001}晶面间距。纳米薄膜厚度校准装置对α-石英晶型Si O2粉末标准物质（SRM1878b）测量得到各晶面2θ角的测量值和标准值如表7所示，XRD谱图如图9所示。