《表2 待测IGBT模块的材料及厚度参数》

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《一种符合欧姆定律的IGBT等效电阻模型》

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FEM是一种基于材料与结构的数值解法，模型的结构与材料参数对仿真的精确计算非常重要[17]。为保证模型结构参数的准确性，本文通过扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）对纵向解剖后的IGBT模块各层厚度参数进行了精确提取，如图6所示。待测模块的各层材料及厚度参数见表2。同时，在材料属性定义时，考虑了硅、铝、铜等材料热导率及热容的温度敏感性[18]。