《表1 电致变色器件各膜层溅射参数Tab.1 Sputtering parameters of electrochromic films》

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《电致变色器件中WO_3薄膜高温环境性能退化机理》

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在室温下，采用直流反应磁控溅射法在透明玻璃上按照表1的参数依次沉积各膜层，制备出ITO/WO3/Li Ta O3/Ni Ox/Al反射式全固态薄膜电致变色器件，结构示意图如图1。为了便于高温试验前后对WO3膜层进行性能分析，在透明玻璃上按照表1的工艺参数制备单层WO3薄膜。