《表1 复合薄膜工艺参数Tab.1 Process parameters of composite films》

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《石墨烯/PET保护膜的制备》


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磁控溅射法，选择射频模式。磁控溅射和真空蒸镀法[17]都是通过控制功率（即控制电压电流）控制镀膜厚度。具体工艺参数详见表1。

图表编号XD00934600    严禁用于非法目的
绘制时间2018.08.01
作者佟欣儒、赵卓、周艳文
绘制单位辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所、辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所、辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所
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